池田理化オンラインカタログ

SEM用メタルコーティング装置
Smart Coater

日本電子

Smart Coater

SEMにおける導電性確保のためのメタルコーティングを簡便に!
本装置は、走査電子顕微鏡(SEM)の試料作製用のアタッチメントです。
SEMで扱う試料にメタル(Au、Pt)コーティングを施して、試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させることにより、観察画像の画質を改善することができます。

特長

  • コンセント一つで稼働
  • コンパクトで場所をとらない
  • タイマー式で操作も簡便
    
型式・型番 Smart Coater(DII-29010SCTR)
スパッタ方式 2極水平電極放電方式
マグネトロンスパッタリング方式
使用真空度 ~4Pa
試料室サイズ 86mmφ(内径)×100mm(D)
試料台サイズ 70mmφ
試料台高さ ターゲットに対して、距離を10~50mmまで連続可変可能
コーティング時間 0.5min./1min./2min.(選択)
サイズ・重量 本体:W203×D270×H325mm 6kg
ロータリーポンプ:W120×D289×H163mm 9.3kg
電源 単相 AC100V 50/60Hz 500VA
価格 ¥650,000
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