池田理化オンラインカタログ

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-IT710HR

日本電子

電源確認

走査電子顕微鏡 JSM-IT710HR

見えるから、追求したい。
JSM-IT710HRは自動測定機能を進化させた新型方モデルです。シンプルな光学系・検出システムと、SEM-EDSのワークフローを考えたユーザーインターフェースにより、誰でも簡単単に高解像度の画像の取得と同時に元素分析ができるSEMを目指しました。

特長

  • 電子光学系・ハードウェアに関わるKey Technology
    自動調整機能-最適なビーム径に自動で調整
    ショットキー電解放出電子銃-大電流でもビーム径を維持
    シンプルな光学設計-優れた操作性と汎用性
    ドローアウト試料交換-大きな試料への対応
  • 特異点を探し出し、高分解能で観察
    Zeromag-光学像を利用した視野探し
    モンタージュ-広域測定
    Simple SEM-自動測定シーケンス
  • 元素情報から構造解析
    EDSインテグレーション
    元素分析、粒子解析/相分析
    結晶方位解析(EBSD)
  • 光学像・SEM像・EDS分析結果を一元管理
    SMILE VIEW Labーデータ管理・レポート自動作成機能
    
型式・型番 JSM-IT710HR
分解能 高真空モード:1.0nm(20kV)、3.0nm(1.0kV)3.0nm(15kV、照射電流3nA)
低真空モード:1.8nm(15kV BED)
加速電圧 0.5~30kV
照射電流 1pA~300nA
写真倍率 5~600,000倍
低真空圧力設定範囲 10~150Pa
主要オプション ステージナビゲーションシステム(SNS)、チャンバースコープ(CS)、LVSED、LHSED、EDS、EBSD、無停電電源装置など
サイズ・重量 設置室:W2000×D2500mm×H2300mm
鏡筒系ユニット:約650kg、油回転ポンプ(1台):約29.5kg、除振ウェイト:約11.7kg
操作テーブル(小):約40kg
操作テーブル(大):約48kg
電源 単相AC100V 50/60Hz 3.0kVA
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