池田理化オンラインカタログ

非接触三次元表面粗さ・形状測定機
Opt-scope

東京精密

Opt-scope Rモデル

ナノレベルの表面性状を測定する
3D白色干渉顕微鏡
Opt-scopeは、全てのレンズ倍率にて0.01 nmの高分解能で高速測定が可能な白色干渉顕微鏡(非接触三次元表面粗さ・形状測定機)です。
狭い範囲の微細粗さ測定から、広範囲のうねり形状測定まで、幅広い測定条件においてもサブナノレベルの表面性状測定が可能です。
オプションの電動XYステージによるスティッチング機能で、より広い範囲での測定が可能です。

特長

  • 高分解能。高速。広範囲測定
  • 25×25/50×50mm(R/S+)、200×200mm(R200)、400×400mm(Rex st400)と様々な測定ワークサイズに応じた多彩なラインナップ
  • 連続測定機能・スティッチング機能オプション
  • 高速カメラオプションによりスキャン速度を6倍にUP
  • ミリ形状まで測定の幅が更に広がるフォーカスバリエーションオプション
  • 透明多層膜測定機能
  • 安心・信頼の測定結果とトレーサビリティ対応
    
型式・型番 Opt-scope R /S+
分解能(Z) 0.01nm
指示精度(Z) ± (0.1 + | H/1000 | ) μm
作動距離(Z) 7.4mm(10倍対物レンズ使用時)
サイズ・重量 W620×D800×H1532mm 175kg(測定部本体)
電源 単相 AC100V・1005W
価格 ¥11,280,000~
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