池田理化オンラインカタログ

日立ショットキー走査電子顕微鏡
SU3900SE/SE Plus、SU3800SE/SE Plus

日立ハイテク

電源確認

SU3800SE ※装置写真はオプション付属の状態です。

SU3900SE ※装置写真はオプション付属の状態です。

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡
求められる高性能と汎用性を融合したSE series
SU3900/SU3800SE Seriesは、FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル(2タイプ2グレード)をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。

※装置写真はオプション付属の状態です。

特長

  • できることの拡大、大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM
  • 見えなかったものが見える、一つ上の高分解能・極表面観察
  • ユーザビリティーを支える、自動化・サポート機能
    
型式・型番 SU3800SE SU3800SE Plus SU3900SE SU3900SE Plus
二次電子分解能 0.9nm@30kV、2.5nm@1kV、1.6nm@1kV
倍率 5~600,000×
電子銃 ショットキーエミッター
加速電圧および照射電圧 加速電圧:0.5~30kV
照射電圧:0.1~2kV
最大試料サイズ 200mm径 300mm径
検出器 二次電子検出器(SED)、5分割反射電子検出器(BSED)、高感度低真空検出器(UVD) 二次電子検出器(SED)、TOP検出器(TD)、5分割反射電子検出器(BSED)、高感度低真空検出器(UVD) 二次電子検出器(SED)、5分割反射電子検出器(BSED)、高感度低真空検出器(UVD) 二次電子検出器(SED)、TOP検出器(TD)、5分割反射電子検出器(BSED)、高感度低真空検出器(UVD)
サイズ・重量 W780×D1060×H1634 mm 600kg W780×D1060×H1718mm 844kg
電源 AC100~115V 2kVA
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