日立ショットキー走査電子顕微鏡 | オンラインカタログ

日立ショットキー走査電子顕微鏡
SU3900SE/SE Plus、SU3800SE/SE Plus

日立ハイテク

SU3800SE ※装置写真はオプション付属の状態です。

SU3900SE ※装置写真はオプション付属の状態です。

高分解能ショットキー走査電子顕微鏡
求められる高性能と汎用性を融合したSE series

SU3900/SU3800SE Seriesは、FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル（2タイプ2グレード）をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。
中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。

※装置写真はオプション付属の状態です。

特長

大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM
非導電性試料は、導電性処理をすることなく、大型重量物試料は、切断等の破壊処理をせずそのまま試料台に搭載して、多角度からの観察が可能です。
ユーザビリティーを支える、自動化・サポート機能
光学カメラ像からSEMの視野探しができるカメラナビゲーション機能、簡単に光学系などの調整ができる自動調整機能、さらに連続画像取得などレシピ作成により自動観察を可能とするEM Flow Creator^※により、業務効率の向上に貢献します。
見えなかったものが見える、一つ上の高分解能・極表面観察
新開発のショットキー電子銃を搭載することで、高加速電圧・低加速電圧いずれの領域においても解像度を向上させました。さらに、極最表面の詳細観察に対する要望にこたえるため、アドバンストモデル（SE Plus）も準備いたしました。

※オプション

この製品をお問い合わせ

型式・型番	SU3800SE	SU3800SE Plus	SU3900SE	SU3900SE Plus
二次電子分解能	0.9nm@30kV、2.5nm@1kV、1.6nm@1kV^※
倍率	5～600,000×
電子銃	ショットキーエミッター
加速電圧および照射電圧	加速電圧：0.5～30kV 照射電圧^※：0.1～2kV
最大試料サイズ	200mm径		300mm径
検出器	二次電子検出器（SED）、5分割反射電子検出器（BSED）、高感度低真空検出器（UVD）^※	二次電子検出器（SED）、TOP検出器（TD）、5分割反射電子検出器（BSED）、高感度低真空検出器（UVD）^※	二次電子検出器（SED）、5分割反射電子検出器（BSED）、高感度低真空検出器（UVD）^※	二次電子検出器（SED）、TOP検出器（TD）、5分割反射電子検出器（BSED）、高感度低真空検出器（UVD）^※
サイズ・重量	W780×D1060×H1634 mm　600kg		W780×D1060×H1718mm　844kg
電源	AC100～115V　2kVA
価格	お問い合わせください
気になるリストに追加
お問い合わせ

※オプション

気になるリストを見る

この製品をお問い合わせ

※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。
※価格に消費税は含まれておりません。
※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。
※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。
※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。

これより先は、弊社の製品に関する情報を、医療従事者の方に提供する目的として作成されています。
一般のお客様への情報提供を目的としたものではありませんので、ご了承ください。

あなたは医療従事者ですか？

はいいいえ