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日立走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡FlexSEM 1000 Ⅱ

日立ハイテク

電源確認

FlexSEM 1000 II

先進のSEMをよりコンパクトに
わずか45cm幅のコンパクト設計ながら、4.0nmの像分解能を実現。
新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。
中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。

特長

  • 卓上設置可能なコンパクトサイズ※1でありながら、分解能4.0nmを実現
  • 独自の高感度二次電子、反射電子検出器、低真空検出器（UVD※2）により、低加速/低真空観察時の高画質化を実現
  • ユーザーの熟練度を問わず高画質・高スループットを実現する新ユーザーインターフェース
  • 観察時の視野探しや試料上の位置把握をサポートする新ナビゲーション機能「SEM MAP」
  • 迅速な元素分析を実現する大口径（30mm2）窒素レスEDS検出器※2

※1：卓上設置時は、装置本体と電源ボックスを分離します
※2：オプション
　　　　
型式・型番 FlexSEM 1000 II
分解能※ 4.0nm（二次電子像、加速電圧：20kV、高真空モード）
15.0nm（二次電子像、加速電圧：1kV、高真空モード）
5.0nm（反射電子像、加速電圧：20kV、低真空モード）
加速電圧 0.3～20kV
倍率 写真倍率：×6～×300,000
モニター表示倍率：×16～×800,000
低真空設定 6～100Pa
最大試料サイズおよび高さ 80mm径（オプション：153mm径）、40mm高さ
試料ステージ 3軸モーターステージ
X：0～50mm、Y：0～40mm、Z：5～33mm
T：-15～90°、R：360°
サイズ・重量 本体：W450×D640×H690mm
電源ボックス：W450×D640×H450mm
電源 単相AC 100～115V
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※本体と電源ボックス連結時

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※価格に消費税は含まれておりません。
※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。
※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。
※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。

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一般のお客様への情報提供を目的としたものではありませんので、ご了承ください。

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