池田理化オンラインカタログ

レーザーラマン顕微鏡
RAMANdrive

ナノフォトン

RAMANdrive

高品質ウエハー開発の駆動力
レーザー顕微鏡のプロであるナノフォトン社がお届けする「300 mmウエハーステージ」を搭載した半導体分析専用のラマン顕微鏡です。独自のステージナビゲーションシステムにより、異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、異物や欠陥の位置に移動することができます。業界最高の空間分解能で高精度な異物同定を可能にします。

特徴

  • ステージナビゲーションシステム
    ナノフォトン独自開発のステージナビゲーションシステムは、ユーザー所有の異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、サンプル上に存在する異物や欠陥の座標へ、ステージを正確かつスムーズに電動で移動させます。サンプルの捜索に時間を割くことなく、分析業務に集中できます。
  • 独自開発300mmウエハーステージを搭載
    最大300mmの大口径ウエハーを設置できる専用ステージを搭載。真空吸着機構により、ウエハーを常に水平に保ちながら、ステージ上にしっかり固定できます。ステージの可動範囲が広いため、ウエハーの端から端まであらゆる場所を視野中心に捉え、測定することが可能です。ステージ中央や左右前端の溝には、ウエハー以外の背の高いサンプルも設置できます。
  • ライン照明が実現する超高速イメージング
    ラマンイメージの取得速度を飛躍的に上げるため、レーザービームをライン状に引き伸ばして試料に照射する独自のライン照明技術を開発。試料上のライン状に照射された領域から、同時に400本のラマンスペクトルを検出します。
  • 100nm以下の微小異物を同定
    最高クラスの空間分解能は、スポットサイズよりも小さな粒子の検出感度を飛躍的に高めます。オプションの高品質な暗視野観察機能により100nm以下の微小異物の位置を明瞭に確認し、高精度なレーザービーム走査で正確に異物の中心にレーザービームを照射します。S/Nの高いラマンスペクトルが取得できるため、高精度な異物同定が可能です。
  • AreaFlash広範囲イメージングでは、ウエハー全面を低空間分解能で従来の120倍の速度でイメージングできます。(ナノフォトン社比)
    
型式・型番 RAMANdrive
空間分解能
(X / Y / Z)
350nm / 500nm / 1000nm(@532nm、100倍対物レンズ 0.90NA、ライン照明時)
350nm / 350nm / 1000nm(@532nm、100倍対物レンズ 0.90NA、ポイント照明時)
レーザー照射方式 ポイント照明 / ライン照明
走査方式 レーザー走査
分光器の焦点距離 550 mm
サイズ・重量 W1276× D1350 × H1320mm 390 kg(除振台含む)
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