本装置は赤外線ゴールドイメージ炉の特徴である高速加熱・冷却、クリーン加熱を行いながら、試料の電気抵抗を直流四端子法により測定することが可能です。自在な雰囲気下で加熱することが可能で温度コントローラと雰囲気可変チャンバが一体化した小型で低価格な赤外線ランプ加熱装置です。加熱操作をUSB接続によりパソコン上で行え、手軽にデータ管理できます。
半導体メモリの温度抵抗変化や、銅製ブスパーの高温電気抵抗モニタリングなどにご利用頂いております。
※すでにMILA-5000シリーズをお持ちの場合はフランジの交換のみでご利用頂けます
- 試料を加熱しながら直流四端子法による電気抵抗率を測定可能
- 真空中、ガス中、ガスフロー中、大気中と任意の雰囲気選択
- 卓上型でコンパクトな設計
＜用途＞
■半導体メモリの温度抵抗変化
■重合、析出、転移温度の把握（結晶化の安定性把握）
■アニールの再結晶化条件
■プロセス条件確立の時間短縮
■バリアー破壊温度の把握