池田理化オンラインカタログ

複合ビーム加工観察装置
JIB-4700F

日本電子

工事電源確認

JIB-4700F

高分解能SEM観察
先端材料の構造微細化やプロセスの複雑化に伴い、形態観察、元素分析や結晶解析などの
評価技術にも高い分解能と精度が求められるようになっています。
このようなニーズに応える一つのツールとして、複合ビーム加工観察装置JIB-4700Fを
開発しました。
電磁界重畳型コニカル対物レンズ、GBモード、インレンズ検出器を搭載することにより、
1kVの低加速電圧で保証分解能1.6nmを実現しました。

特長

  • 高速分析
  • 高速加工
  • 検出システム強化
  • 拡張性
  • 三次元観察、三次元分析
  • ステージリンケージ機能
  • ピクチャーオーバーレイシステム
    
型式・型番 JIB-4700F
SEM分解能 1.2nm(15kV, GBモード)
1.6nm(1kV, GBモード)
FIB像分解能 4.0nm(30kV)
FIB照射電流 1pA~90nA, 13段階
価格 ¥148,500,000
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SEM
加速電圧 0.1~30.0kV
分解能(最適WD時) 1.2nm(15kV, GBモード)
1.6nm(1kV, GBモード)
倍率 ×20~1,000,000(LDFモード搭載)
照射電流 1pA~300nA
検出器 LED, UED, USD, BED, TED, EDS
試料ステージ コンピュータ制御6軸ゴニオメーターステージ
X:50 mm, Y:50mm, Z:1.5~40mm,  R:360°, T:-5~70°, FZ:-3.0~+3.0mm 
※オプション

FIB
加速電圧 1~30kV
像分解能 4.0nm(30kV)
倍率 ×50~1,000,000(×50~90は加速電圧15kV以下で可能)
照射電流 1pA~90nA, 13段階
加工形状 矩形, 線, 点, 円, ビットマップ

※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。
※価格に消費税は含まれておりません。
※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。
※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。
※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。

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