池田理化オンラインカタログ

自動薄膜計測装置(分光エリプソメータ)
Auto SE

堀場製作所

Auto SE

薄膜の膜厚計測に最適な装置です。
膜厚管理などのルーチンワークに。
可視分光エリプソメータをベースとした膜厚や屈折率などの薄膜計測に最適な装置です。
分光エリプソメータ入門編の装置としても適しています。

特長

  • 非接触かつ非破壊測定のため、試料にダメージ無し
  • 1nm~15μmの範囲の膜厚評価が可能
  • 材料の光学定数(屈折率n、消衰係数k)も評価可能
  • 単層膜および多層膜構造の評価も可能
  • 100μm角の微小領域の測定にも対応
  • 電動XYZステージを標準搭載し、面内分布測定に対応
  • 試料の表面状態や測定位置の可視化を実現
    
型式・型番 Auto SE
波長範囲 450~1000nm
スポットサイズ
(70°入射時)
500μm×500μm、250μm×500μm、250μm×250μm、
70μm×250μm、100μm×100μm、50μm×60μm、25μm×60μm
※いずれも四角形
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