池田理化オンラインカタログ

光波動場三次元顕微鏡
MINUK

大塚電子

光波動場三次元顕微鏡MINUK

光波動場三次元顕微鏡MINUK

従来の顕微鏡を超える性能
透明体の傷や異物を可視化・定量化
MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な装置です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。

特長

  • nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
  • 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
  • フォーカス不要で高速測定が可能
  • 非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能
  • 任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易
    
型式・型番 MINUK
分解能 x/y 691nm(ワンショット) 488nm(合成)
視野 x/y 700×700μm
分解能 z 10nm(位相差)
視野 z ±700μm
サンプルサイズ 100×80×t20mm(汎用サンプルホルダ取付時)
レーザー 波長:638nm
出力:0.39mW以下Class1(測定試料への照射強度)
サイズ・重量 W505×D630×H439mm 41kg
消費電力 290VA
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