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ホーム/研究機器カタログ/製品カテゴリから探す/04 電子顕微鏡・原子間力顕微鏡 - 01 SEM（走査型電子顕微鏡）/FIB-SEMシステム

FIB-SEMシステム
JIB-PS500i

日本電子

ガス使用電源確認

JIB-PS500i

試料作製、観察、分析の最先端へ
高精度と高分解能を実現したFIB-SEM
集束イオンビーム加工観察装置（FIB）を搭載した走査電子顕微鏡 （SEM） システムです。
試料作製からTEM観察まで、確実かつ高スループットなワークフローで作業することができます。

特長

  • 最大電流100nAのGaイオンビーム照射が可能なFIB鏡筒
    大電流での加工は、特に広領域の観察・分析に必要な断面試料作製に威力を発揮。
    また、短ワーキングディスタンス化と新開発の電源により低加速仕上げ加工時の性能も向上。
  • SEM鏡筒は、新開発のスーパーコニカルレンズシステムを搭載
    低加速電圧時の像分解能が大きく向上。
    コントラストの良い鮮明なSEM像が取得でき、薄片加工終点の見逃しリスクを低減。
  • 直感的な操作GUI「SEM center」を搭載
    EDS分析フルインテグレーションが可能。
  • 二軸傾斜カートリッジと専用TEMホルダー
    TEM-FIB間の試料搬送をより容易にしながら、高精度な方位合わせが可能。
　　　　
型式・型番 JIB-PS500i
SEM部：像分解能 0.7nm（15kV）/1.4nm（1kV）/1.0nm（1kV, BDモード）
SEM部：倍率 ×50～×1,000,000（STDモード）
×1,000～×1,000,000（UHRモード）
×10～×19,000（LDFモード）
※128mm×96mm写真サイズ表示時
電子銃 インレンズショットキーPlus電界放出電子銃
対物レンズ スーパーコニカルレンズ
試料ステージ フルユーセントリックゴニオメーターステージ
移動範囲：X 130mm, Y 130mm, Z 1.0mm～40mm, T -40.0～93.0°, R 360.0°エンドレス
FIB部：像分解能/倍率 3mm（30kV時）/×50～×300,000（加速電圧により制限あり）
FIB部：イオン源 Ga液体金属イオン源
電源 単相200V±10%以内、50/60Hz、8kVA（最大）、通常使用時約1.8kVA
価格 ¥200,000,000～
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※設置スペースはW3500×D3500×H2300mm以上ご用意ください

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