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ナノ3D光干渉計測システム
VS1800シリーズ

日立ハイテク

電源確認

VS1800シリーズ

表面形状測定：垂直分解能0.01nm
オンリーワン：透明多層膜の非破壊層断面解析
ナノ3D光干渉計測システムVS1800は光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を、非破壊で行うことも可能です。

特長

  • 非接触式＆面測定
    ・光干渉方式を使用する非接触測定
    ・測定対象の材質を問わない
    ・3D計測で線粗さ・面粗さに対応
  • 広い範囲＆高分解能測定
    ・mm単位を超える、広い面内測定範囲
    ・垂直分解能：0.01nm〜
    ・優れた測定再現性（段差再現性<0.1%）
  • 他にない特殊な機能
    ・ISO25178パラメータ比較ツールを搭載
    ・層断面解析機能により、各層の厚みや異物深さの解析が可能
　　　　
型式・型番 VS1800シリーズ
垂直分解能：段差再現性（σ） 0.01nm〜（Phaseモード使用時）：（σ）<0.1%（Phaseモード使用時）
0.1nm〜（Waveモード使用時）：（σ）<0.5%（Waveモード使用時）
試料サイズ 面内：W225×D225mm
垂直：H0〜50mm（100mmまで拡張可能）（Type2/3）
面内（X-Y）測定範囲 43×32µm〜（対物レンズとカメラ組み合わせによる）
画像連結機能（Type2/3）で最大150×150mm
膜厚測定機能 オプションの層断面解析プラグインにて対応可能
価格 ※ ¥16,200,000～
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