池田理化オンラインカタログ

顕微分光膜厚計
OPTM series(自動XYステージタイプ)

大塚電子

OPTM-A1

自動XYステージ仕様で面内25ポイント測定を1分以内で完了(上:ウェーハ面内測定 下:ウェーハの3D表示)

高精度な絶対反射率測定が可能にした
膜厚値・光学定数を精度よく解析できる顕微分光膜厚計
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非接触・非破壊で測定できます。測定時間は1ポイント1秒以内の高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

特長

  • 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約!
  • 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光学定数)
  • 1ポイント1秒以内の高速測定
  • 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系(紫外〜近赤外)
  • エリアセンサーによる安全機構
  • 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
  • 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
  • 各種カスタマイズに対応
    
型式・型番 OPTM-A1
タイプ※1 自動XYステージタイプ
サンプルサイズ 最大200×200×17mm
膜厚測定範囲 1nm〜92μm※2
対物レンズ
(測定エリアサイズ)
5倍(測定エリアφ40μm) 10倍(測定エリアφ20μm)
20倍(測定エリアφ10μm) 40倍(測定エリアφ5μm)
サイズ・重量 556×566×618mm
電源 AC100V±10V 500V
価格 ¥13,800,000~
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お問い合わせ
※1 <その他のタイプ>
  ■固定フレームタイプ ¥10,300,000〜 ■組込みヘッドタイプ ¥9,200,000〜
※2 検出器の波長範囲により異なります

※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。
※価格に消費税は含まれておりません。
※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。
※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。
※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。

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