池田理化オンラインカタログ

周波数領域サーモリフレクタンス顕微鏡
InFocus κ FDTR

サイエンスエッジ

周波数領域サーモリフレクタンス顕微鏡 InFocus κ FDTR

周波数領域サーモリフレクタンス顕微鏡 InFocus κ FDTR

20倍対物レンズ使用時でレーザースポット径は1〜2μm

冷却加熱ステージと組み合わせた測定も可能です

薄膜やマイクロ粒子の熱伝導率測定、接合界面の熱抵抗評価など
革新的なナノスケール熱物性分析を実現
InFocus κ FDTRは、物体表面の光の反射率が温度によって変化する現象(サーモリフレクタンス)を利用して、薄膜や微小構造の熱伝導率などの熱物性値を測定し、その分布を観察する周波数領域サーモリフレクタンス(FDTR)顕微鏡です。

特長

  • 厚さ数十nmの薄膜やマイクロスケールの微粒子の熱伝導率を精密に測定
  • 3次元拡散モデルを用いた熱伝導率の異方性評価が可能
  • 高精度のレーザービーム走査を用いたオフセットFDTR測定により、
    面内熱伝導率の測定が可能
  • 積層半導体などにおける接合界面の熱コンダクタンスの評価
  • マイクロスケールでの熱物性のマッピング測定
    
型式・型番 InFocus κ FDTR
ポンプ光 445 nm
スポット径: およそ2 μm (@20x, NA=0.45)
プローブ光 514 nm
スポット径: およそ1 μm (@20x, NA=0.45)
変調周波数領域 10 kHz - 50 MHz
走査機構 ・XYZ電動ステージ
・レーザー走査光学系搭載(プローブ光のみ)
サイズ・重量 W505 × D560 × H480 mm 70kg
電源 A.C.100V, 15A, 50/60Hz単相1口
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