池田理化オンラインカタログ

電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-IT800シリーズ

日本電子

電源確認

JSM-IT800シリーズ

インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃

Neo Engine

SEM Center

次世代型電子光学制御システム搭載!
JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形
電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現
するために使いやすさを追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを
共通のプラットフォームとしています。

SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた
装置を提供します。
JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズ
バージョン(HL)、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズ
バージョン(SHL/SHLs、機能の違いにより2バージョン)、半導体試料観察を得意とする
セミインレンズバージョン(i/is 、機能の違いにより2バージョン)と5つのバージョンを
ラインナップしました。

さらに、JSM-IT800には、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器
(SBED)と多目的反射電子検出器(VBED)が搭載可能です。
SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得ができます。
VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が出来るため、今まで得られなかった
情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。

特長

  • インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG)
  • SEM Center・EDSインテグレーション
  • SMILE VIEWTM Lab
  • スマイルナビ
  • 新機能 LIVE-AIフィルター(Live Image Visual Enhancer-AI)
  • 上方ハイブリッド検出器(UHD:Upper Hybrid Detector)
    
型式・型番 JSM-IT800
(HLバージョン)
JSM-IT800
(isバージョン)
JSM-IT800
(iバージョン)
JSM-IT800
(SHLsバージョン)
JSM-IT800
(SHLバージョン)
分解能 0.7nm(20kV)
1.3nm(1kV)
3.0nm(15kV, 5nA, WD 10mm)
0.6nm(15kV)
1.0nm(1kV)
3.0nm(15kV, 5nA, WD 8mm)
0.5nm(15kV)
0.7nm(1kV)
3.0nm(15kV, 5nA, WD 8mm)
0.6nm(15kV)
1.1nm(1kV)
3.0nm(15kV, 5nA, WD 10mm)
0.5nm(15kV)
0.7nm(1kV)
0.9nm(500V)
3.0nm(5kV, 5nA, WD 10mm)
倍率 写真倍率
×10~1,000,000
(128×96mm表示時)

表示倍率
×27~2,740,000
(1,280×960画素表示時)
写真倍率
×25~2,000,000
(128×96mm表示時)

表示倍率
× 69~5,480,000
(1,280×960画素表示時)
写真倍率
×25~2,000,000
(128×96mm表示時)

表示倍率
×69~5,480,000
(1,280×960画素表示時)
写真倍率
×10~2,000,000
(128×96mm表示時)

表示倍率
×27~5,480,000
(1,280×960画素表示時)
加速電圧 0.01~30kV
標準検出器 二次電子検出器(SED)
上方電子検出器(UED)
二次電子検出器(SED)
上方インレンズ検出器(UID)
二次電子検出器(SED)
上方インレンズ検出器(UID)
上方電子検出器(UED)
二次電子検出器(SED)
上方ハイブリッド検出器(UHD)
対物レンズ ハイブリッドレンズ セミインレンズ スーパーハイブリッドレンズ
分析機能
(オプション)
EDS
WDS
EBSD
CL
EDS
WDS
CL
EDS
WDS
EBSD
CL
主な用途 (例) 磁性体
広域EBSD
半導体デバイス解析 磁性体
EBSD
生物(アレイトモグラフィ, CLEM)
価格 ¥78,100,000~ ¥83,000,000~ ¥99,600,000~ ¥89,595,000~ ¥108,460,000~
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