池田理化オンラインカタログ

独自のディスクコンフォーカルを採用し、従来のレーザー顕微鏡に比べ高解像度のまま圧倒的な“高速”撮影を実現しています。
高精細の400万画素カメラは、2048x2048画素で50fps面スキャンの高速撮影をします。
非接触測定ながらも、高い測定精度を実現するために405nm〜可視域の波長に最適化された専用対物レンズを新たに開発しました。そのため、従来のレーザ光源に比べて保守が容易なLED光源を採用し、水平分解能130nmを実現しています。
表面形状解析には、測定業界で多くの実績を誇るデジタルサーフ社の解析ソフトウェアを標準搭載し、お客様のニーズに合わせた解析手順をフロー化し、自動解析に対応します。また、2Dの粗さパラメータISO4287の他に、最新の3D表面性状規格ISO25178を始め多くの規格に対応しています。